一、 製品の説明

SuperView W 1光学3 D表面輪郭計は半導体製造及びパッケージ技術検査、3 C電子ガラススクリーン及びその精密部品、光学加工、マイクロナノ材料及び製造、自動車部品、MEMSデバイスなどの超精密加工業界及び航空宇宙、国防軍需産業、科学研究院所などの分野に広く応用できる。超平滑から粗さ、低反射率から高反射率までの各種類の物体表面を測定することができ、ナノメートルからミクロンレベルのワークの粗さ、平坦度、ミクロ幾何学的輪郭、曲率などを測定し、ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外基準に基づいて計300種類以上の2 D、3 Dパラメータを評価基準として提供する。

二、製品機能

1）各種サンプルの表面微視的形態の3 D輪郭再構築と測定機能を備える、

2）表面粗さとミクロ輪郭の検出機能を備え、粗さ範囲は0.1 nmから数十ミクロンのレベルをカバーする、

3）レベリング、形状除去、ノイズ除去、フィルタリングなどのデータ処理機能を備える、

4）粗さ分析、輪郭分析、構造分析、機能分析などの表面パラメータ分析機能を備える、

5）オートフォーカス、自動測定、自動マルチエリア測定、自動継ぎ目測定などの自動化機能を備える、

6）ワンクリック分析、マルチファイル分析などの快速、ロット分析機能を備える、

7）ワード、エクセルなどのデータレポートエクスポート機能を備えている。

三、応用分野

各種製品、部品と材料表面の平面度、粗さ、うねり、面形状輪郭、表面欠陥、摩耗状況、腐食状況、空隙隙間、段差高さ、曲げ変形状況、加工状況などの表面形態特徴に対して測定と分析を行った。

適用例：

半導体研磨シリコンウェハ、薄型シリコンウェハ、ウエハIC
3 C電子サファイアガラスの粗さ、携帯電話の金型の傷、携帯電話のインクスクリーンの高さの差
超精密加工光学レンズ	精密加工エンジンブレード
精密加工ピラミッド型ダイヤモンドヘッド	標準ブロックシングルスケールステップ、マルチスケール粗さ

四、性能の特色

1.高精度、高繰り返し性

1）光学干渉技術、精密Z方向走査モジュールと優れた3 D再構築アルゴリズムを用いて測定システムを構成し、測定精度が高いことを保証する、

2）独特な防振システムは、周波数2 Hz以上のほとんどの振動を効果的に隔離し、地面振動ノイズと空気中の音波振動ノイズを除去し、機器が大部分の生産現場環境で安定して使用できることを保障し、極めて高い測定重複性を得ることができる。

2.一体化操作の測定分析ソフトウェア

1）測定と分析は同じ界面操作であり、切り替える必要がなく、測定データが自動的に統計され、高速ロット測定の機能を実現した、

2）可視化ウィンドウ、ユーザーがリアルタイムでスキャン過程を観察するのに便利である、

3）カスタム分析テンプレートの自動測定機能と結合して、多領域の測定と分析過程を自動的に完成することができる、

4）幾何学分析、粗さ分析、構造分析、周波数分析、機能分析の5つの機能モジュールが完備している、

5）ワンクリック分析、マルチファイル分析、自由に分析項目を組み合わせて分析テンプレートとして保存し、ロットサンプルをワンクリック分析し、データ分析と統計図表機能を提供する、

6）ISO/ASME/EUR/GBTなどの基準に基づく最大300種類以上の2 D、3 Dパラメータを測定することができる。

3.精密制御ハンドル

X、Y、Zの3方向変位調整機能を集積したハンドルは、ステージ並進、Z方向焦点、筋探しなどの測定前の作業を迅速に完了することができる。

4.二重衝突防止保護措置

　　初級のソフトウェアZSTOPがZ方向変位下限位を設置して衝突防止保護を行うほか、Z軸には機械電子センサーが設計されており、レンズがサンプル表面に触れると、機器は自動的に非常停止状態に入り、機器を最大限に保護し、人為的な操作リスクを低減する。

5.デュアルチャネル空気浮遊防振システム

顧客の現場の安定したガス源にアクセスすることも、標準的な静音空圧機にアクセスすることもでき、外接ガス源がない条件下でも安定して動作することができる。

五、応用例：

六、サンプル試験報告：

　　詳細なレポートデータを表示するには、表の画像またはテキストをクリックしてください

注意：市場の発展と製品開発の必要により、本製品資料の中の関連内容は実際の状況に応じて随時更新または修正される可能性があり、予告なく、不便な点はご了承ください。